產品用途
MX-12半導體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學系統，具有大視野、成像質量高、功能擴展性強(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點；同時配有長工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺，最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗。
產品特點
? 仰角可調觀察筒：0-35°觀察角度可調，適合不同身高的用戶，降低了對工作環境的要求，讓不同的使用者都能找到最佳的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適于疲勞，大幅度提高工作效率。
? 全新離合驅動式載物臺：MX12采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動，避免長時間操作出現手麻現象，并加快觀察速度。MX12引入精密導軌傳動機構，移動更輕更順暢，產品更加穩定可靠。
? 防震支架結構設計: 工業檢測級顯微鏡機身由六端支架支撐，低重心、高穩定性全金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱
? 安全高速電動物鏡轉換器: 設有前進、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復定位精度高，有效提升了轉換器的使用壽命。
產品規格
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規格參數
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MX-12
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光路系統
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無限遠色差校正光學系統
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●
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觀察方式
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明場/暗場/偏光/DIC觀察模式(選配)
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○
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，0-35°傾斜可調，瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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正像,視度調節±5°；兩檔分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目鏡
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高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ25mm)，視度可調/可帶十字分劃板
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●
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無限遠長距離明暗場半復消金相物鏡
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倍率
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數值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×DIC
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0.15
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13.50mm
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10×DIC
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0.3
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9.00mm
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20×DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數
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50×-500×
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●
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電動物鏡轉輪(DIC)
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明暗場六孔電動轉換器(帶DIC插槽)。設有前進、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復定位精度高
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●
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機架
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反射式機架：前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統。物鏡和孔徑光闌采用全新的電動控制系統，其操作按鍵位于儀器正前方
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●
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載物臺
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右手位14*12英寸三層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節
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●
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平臺面積710mmX420mm，移動范圍：356mmX305mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內的快速移動；反射配金屬平臺
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玻璃載物臺板。（透/反射用）
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明暗場裝置
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帶明暗場觀察切換裝置與明暗場照明切換裝置
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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照明系統
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柯拉照明系統，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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100-240V寬電壓,12V/100W鹵素燈，明暗場反射照明器
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12V/100W鹵素燈（PHILIPS 7724）
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數碼成像系統
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高質量0.5X
CCD可調焦適配鏡
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●
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Puda 630萬USB型進口芯片數字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現)
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Puda ImageView專業的圖像處理軟件
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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部分樣品圖片
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