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掃描電子偏光顯微鏡的發展及變化

發布人:shpuda發布時間:2014/4/30

    1930年以來,透射式電子偏光顯微鏡發展極快,1940年制成了掃描電子顯徽鏡,到20世紀50年代,由于電子透鏡像差校正理論的發展和加工技術的提高,給微電子束的形成創造了條件,為制造具有廣泛應用的掃描電子偏光顯微鏡打下了良好的基礎,但當時掃描電子偏光顯微鏡應用的還是背敞射電子成像,由于背散射電子的能量較大,很難排除雜散電子和二次電子的干擾,成像分辨率和放大倍數均不高,分辨率在100nm左右,放大倍數只有6000-10000倍。70年代開始,掃描電鏡的分辨率達到優于20nm和放大倍數達1千萬倍以上。


    實驗室中制成的掃描透射電子偏光顯微鏡已達到優于0.5nm分辨率的新水平,此外,還增加了許多圖像觀察,如吸收電子圖像、電子熒光圖像、掃描透射電子圖像、電位對比圖像、x射線圖像,還可安裝X射線顯微分析裝置等,因而一躍而成為各種科學研究領域(如地學,生物學,醫學,冶金)、機械加工及工業部門(如紡織纖維、玻璃絲、塑料制品和陶瓷產品的檢驗,半導休制造、集成電路質量檢查)等廣泛應用的有力工具。


    掃描電鏡采用掃描技術,是詳細研究表面立體構造的有效工具,它在許多方面都比光學顯微鏡和透射式電子偏光顯微鏡優越:它的聚焦景深大,粗糙的樣品表面都可以構成細致詳細的圖像;放大倍數可以連續變化,由20倍增至幾十萬倍以上,因此可以對所有表面情況作細致詳細的觀察;所用的樣品很少,甚至完全不需要特殊的制備過程,不破壞樣品,實現無損觀察分析;因景深長,可以任意地在三維空間內構成樣品立體感很強的清晰圖像,配置X射線分光儀或用非分光法,可直接探測樣品表面的成分,因而可兼有顯微分析儀的功能,能使樣品處于多種特殊環境條件下進行試驗觀察,如力學彎曲、磁學、電導性能觀察測定,高低溫條件下的相變及形態變化等等。

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